簡易檢索 / 檢索結果

  • 檢索結果：共2筆資料 檢索策略： "周賢鎧".ccommittee (精準) and cadvisor.raw="陳炤彰"


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    原子力量測於化學機械拋光之磨料作用力分析研究
    • 機械工程系 /99/ 碩士
    • 研究生： 黃國維   指導教授： 陳炤彰
    • 在半導體元件製程應用上，化學機械拋光(Chemical Mechanical Polishing, CMP)為其重要製程之一，它透過研磨墊、漿粒、晶圓三者間彼此交互作用，使晶圓達到平坦化之效果以利後…
    • 點閱：207  下載：8 

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    化學反應輔助複線式鑽石 線鋸切割製程於鉭酸鋰晶圓之研究
    • 機械工程系 /108/ 碩士
    • 研究生： 陳冠丞   指導教授： 陳炤彰
    • 鉭酸鋰(Lithium Tantalate, LT)是一種鐵電(Ferroelectric)晶體，具有獨特優異的焦電(Pyroelectric)、壓電(Piezoelectricity)和電光(El…
    • 點閱：278  下載：1 
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